洁净度等级A、B、C、D主要参数要求

A级洁净区

洁净操作区的空气温度应为20-24℃

洁净操作区的空气相对湿度应为45%-60%

操作区的风速：水平风速≥0.54m/s;垂直风速≥0.36m/s

高效过滤器的检漏大于99.97%

照度：>300ls-600ls

噪音：≤75db(动态测试)

B级洁净区

洁净操作区的空气温度应为20-24℃

洁净操作区的空气相对湿度应为45%-60%

房间换气次数：≥25次/h

压差：B级区相对室外≥10pa，同一级别的不同区域按气流流向保持一定压差

高效过滤器的检漏大于99.97%

照度：>300ls-600ls

噪音：≤75db(动态测试)

C级洁净区

洁净操作区的空气温度应为20-24℃

洁净操作区的空气相对湿度应为45%-60%

房间换气次数：≥25次/h

压差：B级区相对室外≥10pa，同一级别的不同区域按气流流向保持一定压差

高效过滤器的检漏大于99.97%

照度：>300ls-600ls

噪音：≤75db(动态测试)

D级洁净区

洁净操作区的空气温度应为18-26℃

洁净操作区的空气相对湿度应为45%-60%

房间换气次数：≥15次/h

压差：100000级区相对室外≥10pa，

高效过滤器的检漏大于99.97%

照度：>300ls-600ls

噪音：≤75db(动态测试)

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